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檢 測 維 修 流 程 收貨 檢測 1.儀器內部目視檢驗 2.電源input/output Power on check 3.主動 / 被動元件check 報價 ↙ ↘ YES NO ↓↓ Trouble-shooting 送回 Parts replacement Dummy load/Simulate Chamber RF(plasma)Test/Report 送回

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