關於我們

密特(MIT)先進材料股份有限公司成立於2012年4月,主要致力於半導體製程所需化學藥水及材料研發製造及銷售,除目前既有之化學產品外,我司亦努力於客戶所需之特殊製程及化材做客製化之合作開發!
  
本公司目前主要產品為黃光製程及蝕刻製程所需之相關藥水,其中最具優勢的產品為不含氟之雙氧水base鈦蝕刻液,主要特性為:
1.可同時用於蝕刻Ti, TiW, TiN等相關鈦金屬導電層 
2.其蝕刻速度較其他一般市面之鈦蝕刻液快(溫度25度, pH8.0時即可達500A/min的蝕刻速率; TiW可達800A/min)
3. 藥水剝除鈦的可作業片數(bath loading)為其他藥水之2~5倍(每升藥水可作業25片厚度為1000A Ti的12" wafer; 40片厚度3750A TiW的8" wafer);建浴後可作業時間(bath life)約為40 hrs可保持穩定蝕刻速率
4. 蝕刻製程中不會有升溫問題,穩定性及安全性高
5. 對於其他金屬如Cu, Al, Sn, Ni...等均不會傷害
6. 可用於fine pitch    
故除了品質ok外還具備＂throughput快＂且＂cost低＂的兩大重要優勢!

敝司之所以取名為"MIT"主要強調產品均為Made In Taiwan,面對目前強調cost down且品質又要好的時代,相信使用MIT產品的客戶將可降低許多成本並可增加許多無形及無限的競爭力!


服務內容: 黃光製程之去光阻液,Low-k PI及平角銅線絕緣漆,選擇性鈦蝕刻液,選擇性銅蝕刻液,剝墨液,選擇性鎳蝕刻液,鎳鉻合金蝕刻液,非氫氟酸玻璃/石英蝕刻液