真空系統設備零件(客製化)規劃設計製造 低溫&高溫&變溫量測/電性量測系統 濺鍍機,蒸鍍機,電子束,真空高溫爐,真空烘箱系統,手套箱(客製化). PECVD/CVD/OLED/RIE/ALD/ICP系統 客製化真空管件/腔體/零組件加工. 各式真空計/真空幫浦/氣體流量計/磁控槍(台製,進口)/ DC/RF 電源供應器. 真空系統/升級/維修/測漏/改裝.. 真空耗材:靶材/鎢舟/膜厚計晶片/機械幫浦油………..等.
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